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气浮减震运动平台搭建注意事项.技术资讯

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发表日期:2015-12-13

  • Passive
气浮减震运动平台搭建注意事项
 

   运动平台,多数是采用直线电机伺服驱动的3轴定位系统,广泛用于精密外形检测,精密激光加工,缺陷检测,激光修补行业的机械设备之中。相对一些光学仪器内部部件因为振动传达率不同而导致零件位移产生的误差来讲,运动平台更为复杂。因为被动式的隔振系统设计原理是降低地面传达到工作面的振动传达率来减少震动传达到各部件的影响。而运动平台在运动过程中自己会产生震动,甚至是重心位置造成偏移,由于惯性的作用自身还可能发生部件位移,甚至在使用气浮平台的时候,气浮故名思议就是上平台悬浮在空中,这样就意味着对惯性的这个摇摆只靠自然阻尼可能会持续很久很久,所以一直是振动隔离行业的难点。


   然而在运动控制领域,日本明立一直走在前列,从上世纪68年时就推出针对曝光机STAGE的减震系统了,是日本最早的行业品牌,比美国还要早几年,简单来说运动平台的振动问题不只是隔振的厂家能解决的问题,而需要运动平台厂商共同设计。因为运动平台设计的运动速度,直接影响平台的收敛时间,若是收敛时间设定的非常短就可能出现,第一次晃动都还没结束第二次晃动又开始了,导致动能无法消散累加共振。另外,平台晃动的剧烈程度是根据重心位置来决定的,试想一下,如果平台呈金字塔形,重心一直在平台大理石中心最底部,台面上产生一些振动就不会造成多大的晃动,但是相反,如果把这个平台倒过来那根本就不是会晃动的问题了,而是直接侧翻倒地。沿用这一科学原理,隔振厂商需要了解平台的重心位置,让这些支持点保证在[图2]的范围之内。然而,运动平台会有一个工作行程,在XY轴移动的时候,顺带会把重心带到其他地方,所以隔振的厂商需要平台厂商告知行程范围。

图2

 


只解决重心问题,并不能增加平台的收敛速度,所以我们会采取一些特殊的办法来增加收敛速度。