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精密仪器的防振_超高真空STM的减振事例(2)_光学平台厂商.技术资讯

    考虑到以上的情况,采用以上材料并为使在真空室内也能使用而进行了高性能化后开发
出来的是显示在图1中的超高真空环境对应除振装置VNK。具有主弹簧的线圈弹簧和,产生
负刚性的结构,将弹簧类的刚性减小到几十分之一,达到了固定振动频率0. 5Hz。材料全部
由能在超高真空中使用的材料,重新探讨了表面处理,润滑方法,阻尼材料等,使在超高真
空中也能进行STM的除振。这结果,通过1500C的加温,达到了3X10一 9Pa 02X1。一,1T。rr)
的真空度。


    以下显示的是实际中使用VNK拍摄到的试验料的硅晶(111)面7X7重新排列结构(Si
(川)7X7)的STM图像。图2,图3分别对应,搭载在VNK上除振后和夹钳固定VNK后
不除振的情况。测定条件是,扫描范围:约30nm X 30nm,隧道电流:50Pa,试验料应用电压:
+2V0