菲佐型干涉仪系统的减振台对策（1）光学平台价格.技术资讯
菲佐型干涉仪系统的减振对策
【事例】
用主动型的减振台来实施受到几Hz带域的低频率振动的影响
的〔菲佐型干涉仪系统〕的振动对策
【对策要点】
被动型的减振台有因为其固定振动而增幅低频率振动的缺点
在本案中那影响作为测量误差出现。
原因
使用菲佐型干涉仪系统(图1)进行直径100mm的光学平台的面精度测定。装置本来通
过被动式的空气弹簧式减振台被悬架着，由于被认为起因于低频率振动的影响而残留着装
置的晃动，所以不能进行正确地测定。
对策
把减振台换成主动型空气压控制式减振台力图改善低频率振动的除振性能。图2
和图3显示的是用被动型的减振台悬架时和，用主动型减振台悬架时的光学平台的各自
测量结果。
图1用主动除振系统悬架起来的菲佐型干涉仪系统的全景
用被动型减振台悬架时可以观测到光学平台的表面成波浪状。这不是本来的形状，
是因为受到振动的影响装置晃动而能观察到成倍于干涉条纹束数的数量的波纹的缘故，可以
知道除振不充分。另一方面，用主动型的减振台悬架时消除了振动的影响，不出现波浪状，
能观察到本来的形状(图3)