空气压控制试主动防振系统MAPS.主动防震台
6自由度アクティブ制御で全自由度の振動に対して優れた除振性能、制振性能、位置決め性能を発揮
MAPSシリーズは必要とされる全ての機能を、お客様の装置に組み込みやすいように小型ユニットタイプにまとめたアクティブ除振ユニットです。
6自由度アクティブ制御で全自由度の振動に対して優れた除振性能、制振性能、位置決め性能を発揮
MAPSシリーズは必要とされる全ての機能を、お客様の装置に組み込みやすいように小型ユニットタイプにまとめたアクティブ除振ユニットです。